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近年來(lái)，無(wú)塵車(chē)間為了保證一定的環(huán)境濕度，在規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程，使我們必需承擔(dān)資金和運(yùn)營(yíng)成本。但是為什么值得花費(fèi)這么多錢(qián)用在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中控制相對(duì)濕度呢？道理很簡(jiǎn)單！因?yàn)橄鄬?duì)濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：
1、細(xì)菌生長(zhǎng)；細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至zui低。
2、工作人員感到室溫舒適的范圍；相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
3、出現(xiàn)靜電荷；高濕度實(shí)際上減小了無(wú)塵車(chē)間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
4、金屬腐蝕；很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室周?chē)諝庵械谋砻娑己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。
5、水汽冷凝；在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)——凱爾文濃縮——當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。
6、光刻的退化；到目前為止，在半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中zui迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是zui嚴(yán)格的水準(zhǔn)。
干燥的季節(jié)，在無(wú)塵車(chē)間內(nèi)，靜電和粉塵的危害是直接造成無(wú)塵車(chē)間工業(yè)產(chǎn)品出現(xiàn)各種不良后果?，F(xiàn)在通過(guò)使用工業(yè)加濕機(jī)將空氣濕度提升，即保證了產(chǎn)品的出廠(chǎng)品質(zhì)，人們感覺(jué)舒適，靜電也消失了、因此，潔凈加濕成為無(wú)塵車(chē)間環(huán)境控制的必然要求。
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